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特徴

基本性能

• ±2%の温度均一性を実現。
• 120秒以内に133Pa以下の真空度に到達。

安全性

• エリアセンサーを4点に配置。
• ノックピンを使用したメカニカルロック機構採用。

操作性

• ワンタッチクランプ方式（特許取得済）により、
  

  ダイアフラム

  交換時間50%削減

  作業工数85%削減

  ※従来方式との比較（当社比）

有効加工面積

PVL0714S	700mm×1400mm
PVL1016S	1000mm×1600mm
PVL1222S	1200mm×2200mm
PVL1522S	1500mm×2200mm

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