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特徴

基本性能

• 一体型熱板を使用し、温度分布性能は±3℃以内を実現。
• クリーンルーム（クラス1000）対応可能。
• 60秒以内に133Pa以下の真空度に到達。
• 温度調節用熱電対には、ダブルエレメント型を採用。

安全性

• 熱板の過熱検知アラーム機能
  熱板ヒーターの断線検知アラーム機能装備。

操作性

• 太陽電池モジュール以外のラミネート用途にも適用可能。
• 手動でチャンバを開閉可能。

有効加工面積

PVL0202S	200mm×200mm
PVL0303S	300mm×300mm
PVL0505S	500mm×500mm

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